반도체 제조공정 장비의 최적 스케쥴링 및 제어 기술 개발

연구자 KAIST 이태억 교수
주요 지원 내역 2015년 12월 이달의 과학기술자상
성과창출연도 2015년
성과내용 "반도체 제조공정 장비의 최적 스케쥴링 및 제어 기술 개발"
이태억 교수는 주력산업인 반도체 제조산업에서 널리 활용되는 다양한 복합 제조공정 장비의 생산성을 높이고 품질을 개선할 수 있는 세계 최고 수준의 획기적인 운영 최적화 이론 및 방법을 개발했다. 다양한 구조의 장비, 복잡한 웨이퍼 공정흐름, 웨이퍼 지연 시간 제약 등이 존재하는 다양하고 복잡한 새로운 스케쥴링 문제에 대해 체계적이고 효율적으로 최적해를 구할 수 있는 수리적, 이론적 체계와 알고리듬 및 방법을 창의적으로 개발했다. 그리고 이를 일반화된 이산사건시스템의 스케쥴링 및 제어에도 적용 가능하도록 확장해 스케쥴링 이론의 학술적 발전과 실용화에 크게 기여했다. 해당 분야 최고수준의 학술지에 3년간 12편 게재, 게재승인 6편, 국제학술대회 13편 발표해 세계 최고 수준의 학술적 기여를 했고 해당 분야 연구를 선도하고 있다. 관련 기술을 반도체 제조업체 및 공정장비업체에 적용, 이전하는 노력도 진행해 우리나라 반도체 제조 및 공정장비 산업의 경쟁력 제고에 크게 기여할 것으로 기대된다.

       
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